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CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

更新時間： 2024-04-29

產(chǎn)品型號：

產(chǎn)品報價：

所在地：合肥市新站區(qū)穎河路22號

產(chǎn)品特點：化學(xué)氣相沉積設(shè)備描述：CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜Z大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時，可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個7“的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。

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CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

名稱	雙通道	三通道	四通道	五通道
CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)質(zhì)量流量控制器	工作溫度：5~45ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度: ±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路:1~199 SCCM 二路:1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度：5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S 重復(fù)精度:±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度:5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用	工作溫度: 5~45 ºC zui大壓力:3x106 Pa 精度:±1.5% FS 線性:±（0.5-1.5）%F.S. 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: 一路: 0~100 SCCM 二路: 1~199 SCCM 三路: 1~199 SCCM 四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制
輸入電源	AC 220V/50Hz單相
功率	23W
PLC觸摸屏	· CVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 · RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制
機械壓力表	· 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 · 量程:-0.1~0.15 MPa
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	· 內(nèi)部連接管道為Φ不銹鋼管 · 外部通氣管道為Φ聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	·316不銹鋼針閥 Φ6mm 不銹鋼管
外形尺寸	600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)
質(zhì)量認證	CE認證
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終身維護