一、設(shè)備特點(diǎn)
新能源材料設(shè)備是由開啟式真空管式爐根據(jù)特殊工藝要求而設(shè)計(jì)的,其滑軌式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在實(shí)驗(yàn)過程中可滿足多種工藝要求,可將樣品直接推至實(shí)驗(yàn)所需設(shè)定高溫區(qū),使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率,滿足工藝要求對(duì)升降溫要求較高的實(shí)驗(yàn),是一款性價(jià)比很高的產(chǎn)品,同時(shí)具有一定的可擴(kuò)展性,比較適用于二維材料,碳材料的實(shí)驗(yàn)要求。
二、技術(shù)參數(shù):
額定功率:3kw
最高溫度:1200℃
工作溫度:1100℃
建議升溫速率:10℃/min(此為爐體本身的升溫速率,通過滑動(dòng)加熱區(qū)可獲得更快的升降溫速率,溫差較大條件下可達(dá)10℃/S)
爐管:高純度石英管Φ50x1400mm
加熱區(qū)長(zhǎng)度:440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm
控溫精度:±1℃
熱電偶:K型
管堵:石英管堵2個(gè)
控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能
尺寸: 1900*640*1320mm
操作界面:觸摸屏
滑動(dòng)方式:手動(dòng)
三、雙通道質(zhì)量流量控制器MFC-2Z
參數(shù):
連接頭類型:Φ6雙卡套不銹鋼接頭。
標(biāo)準(zhǔn)量程(N2):氫氣20sccm、氬氣2000sccm
準(zhǔn)確度:±1.5%
線性:±0.5~1.5%
重復(fù)精度:±0.2%
響應(yīng)時(shí)間:
氣特性:1~4 Sec
電特性:10 Sec
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa
最大壓力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
顯示:4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體
內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6
壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥:Φ6
控制軟件:該系統(tǒng)采用觸摸屏為操作元件,PLC程序與流量計(jì)精準(zhǔn)通訊,具有反應(yīng)時(shí)間短,誤差小等優(yōu)點(diǎn)。
四、 分子泵系統(tǒng)(萊寶)
分子泵型號(hào):TURBOVAC 90i
抽速:N2 90L/S, He 90L/S H2 778L/S
前級(jí)泵型號(hào):DIVAC 300
抽速:3m³/h
接口類型:DN63 ISO-K
電源:220V 50/60hz
環(huán)境溫度:5-32℃